Title |
Auswirkungen einer Plasmabehandlung auf die Eigenschaften des Niedertemperatur-Waferbondens monokristalliner Siliziumoberflächen / von Marco Wiegand |
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Involved |
Marco Wiegand (Verfasser) |
Published |
2001 |
Extent |
VII, 107, IX S. : Ill., graph Darst. |
Thesis |
Halle, Wittenberg, Univ., Diss., 2001 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Silicium, Kristallfläche, Oberflächenbehandlung, Plasmatechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Auswirkungen einer Plasmabehandlung auf die Eigenschaften des Niedertemperatur-Waferbondens monokristalliner Siliziumoberflächen |
Record ID |
963718010 |
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