Title |
Physikalische und chemische Gasphasenabscheidung von amorphem hydrogenisiertem Germanium / Michael Lill |
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Involved |
Michael Lill (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
IV, 110 S. : Ill, graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 2001 |
ISBN |
978-3-8322-0040-4 |
Topic |
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Subject |
Germanium, Amorpher Halbleiter, Wasserstoff, Cat-CVD-Verfahren, Magnetronsputtern |
Series |
Berichte aus der Physik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Physikalische und chemische Gasphasenabscheidung von amorphem hydrogenisiertem Germanium |
Record ID |
964056801 |
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