Title |
Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran / von Jens Heinrich |
|---|---|
Involved |
Jens Heinrich (Verfasser) |
Published |
2000 |
Thesis |
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2000 |
Subject |
Trichlorsilanderivate, Methylgruppe, Ausgangsmaterial, Pyrolyse, Siliciumcarbid, CVD-Verfahren |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Untersuchungen zur Thermolyse der CVD-Precursoren Methyltrichlorsilan und Trimethoxyboran |
Persistent identifier |
urn:nbn:de:bsz:ch1-200100127 (URN) |
Record ID |
964769980 |
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