Title |
Modellierung und Realisierung eines integriert-optischen 1.31μm/1.55μm [1.31mym/1.55mym] Wellenlängenmultiplexers in dotiertem Silikatglas auf Silizium / von Rolf M. Michels |
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Involved |
Rolf M. Michels (Verfasser) |
Published |
2001 |
Extent |
139 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Duisburg, Univ., Diss., 2001 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Wellenlängenmultiplexer, Glas, Dotierung, PECVD-Verfahren, Fotolithografie, FT-IR-Spektroskopie |
DDC notation |
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Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Modellierung und Realisierung eines integriert-optischen 1.31μm/1.55μm [1.31mym/1.55mym] Wellenlängenmultiplexers in dotiertem Silikatglas auf Silizium |
Record ID |
965474437 |
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