Title |
Drucksintern nanoporöser Edelmetallschichten zum Fügen von Siliziumteilen bei niedrigen Temperaturen / von Jens Mehlich. Fraunhofer Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM |
|---|---|
Involved |
Jens Mehlich (Verfasser) |
Published |
Stuttgart: Fraunhofer-IRB-Verl. |
Extent |
118 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Bremen, Univ., Diss., 2002 |
ISBN |
978-3-8167-6134-1 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Siliciumbauelement, Bonden, Drucksintern, Gold, Zwischenschicht, Niedrigtemperatur |
Record ID |
965565602 |
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