Title |
Mid-Bandgap-Materialien für den CMOS-Prozess im Sub-100-nm-Bereich / Thomas Vieregge |
|---|---|
Involved |
Thomas Vieregge (Verfasser) |
Published |
Düsseldorf: VDI-Verl. |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
X, 100 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss. |
ISBN |
978-3-18-335909-7 |
Topic |
|
Subject |
MES-FET, Nanostruktur, Subband, Molybdänsilicide, CMOS, CVD-Verfahren |
Series |
Fortschrittberichte VDI. Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; Nr. 359 |
Record ID |
965611647 |
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