Title |
Algorithmen für die dreiecksbasierte dreidimensionale Simulation bewegter Oberflächen in der Halbleitertechnologie / vorgelegt von Oliver Lenhart |
|---|---|
Involved |
Oliver Lenhart (Verfasser) |
Published |
2002 |
Extent |
142 Bl. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Ätzen, Halbleitertechnologie, Prozesssimulation, Dreidimensionale geometrische Modellierung, Triangulation, Level-Set-Methode |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Algorithmen für die dreiecksbasierte dreidimensionale Simulation bewegter Oberflächen in der Halbleitertechnologie |
Record ID |
965696162 |
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