Title |
Algorithmen für die dreiecksbasierte dreidimensionale Simulation bewegter Oberflächen in der Halbleitertechnologie / Oliver Lenhart |
|---|---|
Involved |
Oliver Lenhart (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
142 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002 |
ISBN |
978-3-8322-0960-5 |
Topic |
|
Subject |
Ätzen, Halbleitertechnologie, Prozesssimulation, Dreidimensionale geometrische Modellierung, Triangulation, Level-Set-Methode |
Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2002,5 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Algorithmen für die dreiecksbasierte dreidimensionale Simulation beweg ter Oberflächen in der Halbleitertechnologie |
Record ID |
96591853X |
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