Title |
Neue Konzepte der Laserstrahlformung und -führung für die Mikrotechnik / von Knut Jasper |
|---|---|
Involved |
Knut Jasper (Verfasser) |
Published |
München: Utz, Wiss. |
Extent |
152 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002 |
ISBN |
978-3-8316-0205-6 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Excimerlaser, Maskentechnik, Strahlführung |
Series |
Laser in der Materialbearbeitung |
Record ID |
966437527 |
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