Title |
Silicium aus der Gasphase : Optimierung der Gasphasenabscheidung von Silicium aus Silan / von Michael Hofstätter |
|---|---|
Involved |
Michael Hofstätter (Verfasser) |
Published |
2002 |
Thesis |
Bielefeld, Univ, Diss., 2002 |
Topic |
Technische Chemie |
Subject |
Silicium, CVD-Verfahren, Silan, Ausgangsmaterial, Prozessführung (Technik), Online-Publikation |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Silicium aus der Gasphase : Optimierung der Gasphasenabscheidung von Silicium aus Silan |
Persistent identifier |
urn:nbn:de:hbz:361-3740 (URN) |
Record ID |
967060109 |
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