Title |
Mikrorissbildung im GaAs und deren Nutzung beim Draht- und Innenlochtrennen in der Halbleiterwafer-Herstellung / vorgelegt von Ralf Hammer |
|---|---|
Involved |
Ralf Hammer (Verfasser) |
Published |
2002 |
Extent |
168 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002 |
Topic |
|
Subject |
Wafer, Galliumarsenid, Einkristall, Mikroriss, Trennschleifen, Trennläppen |
Record ID |
967865336 |
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