Title |
Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid / Michael Haag |
|---|---|
Involved |
Michael Haag (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker***5100500 |
Extent |
VIII, 117 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Kaiserslautern, Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-1632-0 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Plasmabrenner, PVD-Verfahren, Plasmastrahl, Bornitrid, Dünne Schicht |
Series |
Berichte aus der Physik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid |
Record ID |
967947014 |
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