Title |
Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen / von Oliver Nehrig |
|---|---|
Involved |
Oliver Nehrig (Verfasser) |
Published |
2003 |
Thesis |
Essen, Univ., Diss., 2003 |
Topic |
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Subject |
Manipulator, Schwerlast, Beschleunigungssensor, Kapazitiver Sensor, Siliciumsensor, Mikromechanik |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen |
Persistent identifier |
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Record ID |
967968259 |
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