Title |
Dynamische Spannungsmessungen an Submikrometerleitungen mittels der elektrischen Kraftmikroskopie / von Ulf Erich Behnke |
|---|---|
Involved |
Ulf Erich Behnke (Verfasser) |
Published |
2002 |
Extent |
IX, 167 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Duisburg, Univ., Diss., 2002 (Nicht für den Austausch) |
Topic |
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Subject |
Leiterbahn, Nanometerbereich, Elektrische Spannung, Dynamische Messung, Rasterkraftmikroskopie, Heterodyninterferometrie |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Dynamische Spannungsmessungen an Submikrometerleitungen mittels der elektrischen Kraftmikroskopie |
Record ID |
967968933 |
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