Title |
Optische Mikrosysteme auf der Basis von plasmastrukturierten U-Gräben / Ulf-Peter Dahms |
|---|---|
Involved |
Ulf-Peter Dahms (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
VI, 121 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-1668-9 |
Topic |
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Subject |
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Series |
Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Optische Mikrosysteme auf der Basis von plasmastrukturierten U-Gräben |
Record ID |
968324932 |
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