Title |
Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen / Alexander Leopold |
|---|---|
Involved |
Alexander Leopold (Verfasser) |
Published |
2002 |
Extent |
[6], 132 Bl. : graph. Darst. |
Thesis |
München, Techn. Univ., Diss., 2002 |
Language |
|
Topic |
|
Subject |
Silicium, Wafer, Oberflächenreinigung, Wasserstoffperoxid, Komplexbildner, Einstufenprozess |
DDC notation |
|
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Neue Konzepte zur Reinigung von Siliciumoberflächen |
Record ID |
968489354 |
Please note
The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link: