Title |
Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen / Norbert Benesch |
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Involved |
Norbert Benesch (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
III, 180 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-1766-2 |
Topic |
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Subject |
Dynamisches RAM, Fotolithografie (Halbleitertechnologie), Plasmaätzen, Nanostruktur, Optisches Messgerät, Lichtbeugung |
Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2003,6 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen |
Record ID |
968660592 |
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