Title |
Mikro- und integriert-optische Silizium-Mikrofone mit intensitätsmoduliertem Ausgangssignal / Martin Klaiber |
|---|---|
Involved |
Martin Klaiber (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
193 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-1956-7 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Mikrofon, Integriert-optisches Bauelement, Akustisches Signal, Modulator, Hohlleiter, Optisches Signal |
Series |
Berichte aus der Mikromechanik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Mikro- und integriert-optische Silizium-Mikrofone mit intensitätsmoduliertem Ausgangssignal |
Record ID |
968762794 |
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