Title |
Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie / vorgelegt von Michael Schulz |
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Involved |
Michael Schulz (Verfasser) |
Published |
2003 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Freiburg (Breisgau), Univ., Diss., 2003 |
Topic |
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Subject |
Siliciumorganische Verbindungen, Lithografie (Halbleitertechnologie), Ausgangsmaterial, Pyrolyse, Nichtoxidkeramik, Rapid Prototyping (Fertigung) |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Mikrostrukturierung präkeramischer Polymere mit Hilfe der UV- und Röntgentiefenlithographie |
Persistent identifier |
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Record ID |
968798136 |
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