Title |
Nanostrukturierung mit Femtosekundenlaserpulsen / von Frank Korte |
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Involved |
Frank Korte (Verfasser) |
Published |
Göttingen: Cuvillier |
Edition |
1. Aufl. |
Extent |
IV, 147 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-89873-895-8 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Laserablation, Femtosekundenlaser, Lithografie (Halbleitertechnologie), Nanostrukturiertes Material |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Nanostrukturierung mit Femtosekundenlaserpulsen |
Record ID |
969149786 |
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