Title |
Untersuchung der Stabilität von Cu-Diffusionsbarrieren mit Hilfe von Schottky-Dioden / Carsten Ahrens |
|---|---|
Involved |
Carsten Ahrens (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
128 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2002 |
ISBN |
978-3-8322-2127-0 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Siliciumhalbleiter, Metallisieren, Kupfer, Diffusionsbarriere, Nitride, Schottky-Diode |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Untersuchung der Stabilität von Cu-Diffusionsbarrieren mit Hilfe von Schottky-Dioden |
Record ID |
969484240 |
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