Title |
Surfactant-gesteuertes Wachstum von Siliciden / vorgelegt von Heiko Hortenbach |
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Involved |
Heiko Hortenbach (Verfasser) |
Published |
2003 |
Extent |
105 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2003 (Nicht für den Austausch) |
Topic |
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Subject |
Silicium, Halbleiteroberfläche, Silicide, Schichtwachstum, Grenzflächenaktiver Stoff, Antimon |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Surfactant-gesteuertes Wachstum von Siliciden |
Record ID |
969958862 |
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