Title |
Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik / von Philipp Wilhelm Sasse |
|---|---|
Involved |
Philipp Wilhelm Sasse (Verfasser) |
Published |
2002 |
Extent |
II, 100 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Paderborn, Univ., Diss., 2002 |
Topic |
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Subject |
Rotationssensor, Entwurf, Mikromechanik, Oberflächenmontage, CMOS, Siliciumbauelement |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwurf eines Rotationssensors in dreischichtiger, CMOS-kompatibler Silizium-Oberflächen-Mikromechanik |
Record ID |
969979460 |
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