Title |
Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik / vorgelegt von Jürgen Wibbeler |
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Involved |
Jürgen Wibbeler (Verfasser) |
Published |
2002 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002 |
Topic |
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Subject |
Vibrationssensor, Oberflächenmontage, Eigenfrequenz, Abstimmung (Frequenz), Resonator, Nichtlineare Schwingung |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Frequenzselektive Vibrationssensoren mit spannungsgesteuerter Resonanzabstimmung in Oberflächenmikromechanik |
Persistent identifier |
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Record ID |
970274238 |
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