Title |
Anregung und Auswertung von resonanten mikromechanischen Strukturen mit elektrostatischem Antrieb und kapazitivem Detektor in Mikrosystemen / Udo Sobe |
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Involved |
Udo Sobe (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
XV, 176 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-2512-4 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Mikromechanik, Resonator, Aktor, Drehratensensor, Scanner, Spiegel |
Series |
Berichte aus der Elektrotechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Anregung und Auswertung von resonanten mikromechanischen Strukturen mit elektrostatischem Antrieb und kapazitivem Detektor in Mikrosystemen |
Record ID |
970406118 |
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