Title |
Entwicklung einer auf Photo-BCB basierenden Technologie für das Waferlevel Packaging / Michael Töpper |
|---|---|
Involved |
Michael Töpper (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
206 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-2557-5 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Wafer-Integration, Verbindungstechnik, Dünnschichttechnik, Polymerfilm, Fotochrome Verbindungen, Benzocyclobutanderivate |
Series |
Berichte aus der Elektrotechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwicklung einer auf Photo-BCB basierenden Technologie für das Waferlevel Packaging |
Record ID |
970417411 |
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