Title |
Theoretische und experimentelle Untersuchungen zur Koordinatenmesstechnik in der Nanometrologie / Ralph Petersen |
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Involved |
Ralph Petersen (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
VI, 155 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Hamburg, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-2551-3 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Koordinatenmessgerät, Nanometerbereich, Rasterkraftmikroskopie, Positionierung, Kalibrieren (Messtechnik) |
Series |
Schriftenreihe / Laboratorium Mess- und Informationstechnik ; Bd. 1 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Theoretische und experimentelle Untersuchungen zur Koordinatenmesstechnik in der Nanometrologie |
Record ID |
970725043 |
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