Title |
Entwicklung eines Triple-Gate-CMOS-Prozesses auf SOI-Material / Max Christian Lemme |
|---|---|
Involved |
Max Christian Lemme (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
VI, 138 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-2668-8 |
Country |
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Topic |
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Subject |
CMOS, SOI-Technik, Kurzkanal-FET, Dreidimensionale Integration, Gate-Oxid, Ansteuerung |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwicklung eines Triple-Gate CMOS Prozesses auf SOI-Material |
Record ID |
970867484 |
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