Title |
Entwicklung temporärer Kontaktelemente für die Mikrosystemtechnik / Clemens Krüger |
|---|---|
Involved |
Clemens Krüger (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
X, 153 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-8322-2297-0 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Federkontaktstift, Miniaturisierung, Multichiptechnik, Flip-Chip-Technologie, Selbstjustierende Technik, Fotolithografie (Halbleitertechnologie) |
Series |
Berichte aus der Elektrotechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwicklung temporärer Kontaktelemente für die Mikrosystemtechnik |
Record ID |
970989741 |
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