Title |
Die Nitridbildung auf Oberflächen von III-V-Halbleitern durch niederenergetischen Beschuß mit einfach ionisierten Stickstoffmolekülen / vorgelegt von Jan-David Hecht |
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Involved |
Jan-David Hecht (Verfasser) |
Published |
Berlin: Mensch-und-Buch-Verl. |
Extent |
VI, 115 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Leipzig, Univ., Diss., 2003 |
ISBN |
978-3-89820-671-6 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Drei-Fünf-Halbleiter, Halbleiteroberfläche, Ionenbestrahlung, Stickstoffion, Nitride, Dünne Schicht |
Record ID |
971621969 |
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