Title |
Pinchplasma mit Hohlkathodenzündung als Strahlungsquelle im extremen Ultraviolett / Oliver Rosier |
|---|---|
Involved |
Oliver Rosier (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
170 S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2004 |
ISBN |
978-3-8322-2956-6 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Strahler, Extremes Ultraviolett, Hohlkathodenentladung, Pinch, Lithografie (Halbleitertechnologie) |
Series |
Berichte aus der Physik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Pinchplasma mit Hohlkathodenzündung als Strahlungsquelle im extremen Ultraviolett |
Record ID |
97184173X |
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