Title |
Zusammenhang von strukturellen, chemischen und röntgenoptischen Eigenschaften mittels MOCVD und Elektronenstrahlverdampfung hergestellter Mo/Si und W/Si- Multischichten / vorgelegt von Andreas Aschentrup |
|---|---|
Involved |
Andreas Aschentrup (Verfasser) |
Published |
2003 |
Extent |
155 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Bielefeld, Univ., Diss., 2003 (Nicht für den Austausch) |
Topic |
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Subject |
Molybdän, Silicium, Mehrschichtsystem, MOCVD-Verfahren, Elektronenstrahlverdampfen |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Zusammenhang von strukturellen, chemischen und röntgenoptischen Eigenschaften mittels MOCVD und Elektronenstrahlverdampfung hergestellter Mo/Si und W/Si- Multischichten |
Record ID |
971848378 |
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