Title |
Großflächiges Strukturieren von Siliziumwafern in der Solarzellenproduktion / Burkhard Leifhelm |
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Involved |
Burkhard Leifhelm (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
VI, 140 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Technische Hochsch., Diss., 2004 |
ISBN |
978-3-8322-3033-3 |
Country |
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Topic |
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Subject |
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Series |
Berichte aus der Produktionstechnik ; Bd. 2004,17 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Grossflächiges Strukturieren von Siliziumwafern in der Solarzellenproduktion |
Record ID |
971959358 |
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