Title |
Entwicklung, Aufbau und Automatisierung einer UHV-Aufdampfanlage sowie Untersuchungen zur Morphologie und Reaktivität dünner Schichten / vorgelegt von Kim Andreas Lukoschus |
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Involved |
Kim Andreas Lukoschus (Verfasser) |
Published |
2000 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Kiel, Univ., Diss., 2000 |
Topic |
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Subject |
Aufdampfen, Hochvakuumtechnik, Geräteentwicklung, Chrom, Tellur, Mehrschichtsystem |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwicklung, Aufbau und Automatisierung einer UHV-Aufdampfanlage sowie Untersuchungen zur Morphologie und Reaktivität dünner Schichten |
Persistent identifier |
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Record ID |
972066861 |
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