Title |
Nichtdotierende Anwendungen von Ionenstrahlen in der Halbleitertechnologie / Lothar Frey |
|---|---|
Involved |
Lothar Frey (Verfasser) |
Published |
2003 |
Extent |
33, [115] S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Erlangen, Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2004 |
Language |
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Topic |
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Subject |
Halbleiterwerkstoff, Modifizierung, Ionenimplantation, Aufsatzsammlung |
Further information |
Enth. 20 Sonderabdr. aus verschiedenen Zeitschr. und Publ. - Beitr. teilw. dt., teilw. engl. |
Record ID |
972676481 |
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