Title |
Echtzeit-in-situ-Messung der Oberflächenbelegung einer Magnetron-Kathode bei der reaktiven Sputter-Abscheidung / Dominik Güttler. FZR, Forschungszentrum Rossendorf |
|---|---|
Involved |
Dominik Güttler (Verfasser) |
Published |
Dresden: FZR |
Edition |
Als Ms. gedr. |
Extent |
90 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Diplomarbeit |
Topic |
|
Subject |
Echtzeit-in-situ-Messung |
Series |
Wissenschaftlich-technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf ; 411 |
Record ID |
972891994 |
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