Title |
Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess / von Henning Fuchs |
|---|---|
Involved |
Henning Fuchs (Verfasser) |
Published |
2004 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Magdeburg, Univ., Diss., 2004 |
Topic |
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Subject |
PVD-Verfahren, Vakuumlichtbogen, Puls (Technik), Ionentransport, Prozessführung (Technik), Online-Publikation |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Untersuchungen zur ionenstromangepassten Prozessführung und zu Verfahrensvarianten im gepulsten Vakuumbogen-Beschichtungsprozess |
Persistent identifier |
|
Record ID |
973155329 |
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