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Source
buchhandel.de

Martin Handtmann

Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung

Aachen: Shaker, 2005

Title

Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung / Martin Handtmann

Involved 

Martin Handtmann (Verfasser)

Published

Aachen: Shaker
2005

Extent

XXIV, 220 S. : graph. Darst.

Thesis

Zugl.: München, Techn. Univ., Diss., 2004

ISBN

978-3-8322-3627-4

Country

Deutschland

Topic

Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Subject

MEMS, Drehratensensor, Kapazitiver Sensor, Regelungssystem, Coriolis-Kraft, Sigma-Delta-Wandler

Series

Selected topics of electronics and micromechatronics = Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik ; Vol. 14

Other editions

Erscheint auch als Online-Ausgabe: Dynamische Regelung mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) mit Hilfe kapazitiver Signalwandlung und Kraftrückkoppelung

Record ID

973975172
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