Title |
Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD / Trixi Leistner |
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Involved |
Trixi Leistner (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
152 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2005 |
ISBN |
978-3-8322-3778-3 |
Country |
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Topic |
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Subject |
MOCVD-Verfahren, Titandioxid, Dünne Schicht, Ausgangsmaterial, Titanorganische Verbindungen, Organische Flüssigkeit |
Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2005,2 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Charakterisierung von Titandioxidschichten abgeschieden aus neuentwickelten Precursoren mittels MOCVD |
Record ID |
974056561 |
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