Title |
Erzeugung, Charakterisierung und Strukturierung von Fluorocarbon-Plasmapolymeren für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik / vorgelegt von Vasil Yanev |
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Involved |
Vasil Yanev (Verfasser) |
Published |
2004 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2004 |
Topic |
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Subject |
Perfluoralkane, Plasmapolymerisation, Dünnschichttechnik, Silicium, Substrat (Mikroelektronik), Online-Publikation |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Erzeugung, Charakterisierung und Strukturierung von Fluorocarbon-Plasmapolymeren für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik |
Persistent identifier |
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Record ID |
974870587 |
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