Title |
Präzisionsprüfgerät für Nanomesstaster / von Yung-Cheng Wang |
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Involved |
Yung-Cheng Wang (Verfasser) |
Published |
2003 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2003 |
Topic |
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Subject |
Messgerät, Präzisionsmessung, Nanometerbereich, Automatisches Prüfen, Laserinterferometer, Winkelauflösung |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Präzisionsprüfgerät für Nanomesstaster |
Persistent identifier |
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Record ID |
974936715 |
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