Title |
Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen / von Ursula Telgheder |
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Involved |
Ursula Telgheder (Verfasser) |
Published |
2005 |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Duisburg, Essen, Univ., Habil.-Schr., 2005 |
Topic |
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Subject |
Halbleitertechnologie, Gasphasenreaktion, Gasanalyse, Spurenelement, Atomabsorptionsspektroskopie, Online-Publikation |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen |
Persistent identifier |
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Record ID |
97496381X |
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