Title |
Augerelektronenspektroskopie und niederenergetischer Ionenbeschuss von Siliziumkarbid / von Rastislav Kosiba |
|---|---|
Involved |
Rastislav Kosiba (Verfasser) |
Published |
2004 |
Extent |
145 Bl. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2005 (Nicht für demn Austausch) |
Topic |
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Subject |
Siliciumcarbid, Festkörperoberfläche, Sputtern, Ionenbestrahlung, Auger-Spektroskopie |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Augerelektronenspektroskopie und niederenergetischer Ionenbeschuss von Siliziumkarbid |
Record ID |
974976180 |
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