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Akhauri Prakash Kumar and Universität Stuttgart. Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb

Agent based diagnostic system for the defect analysis during chemical mechanical polishing (CMP)

Heimsheim: Jost-Jetter, 2005

Title

Agent based diagnostic system for the defect analysis during chemical mechanical polishing (CMP) / Universität Stuttgart, IFF, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb ... Akhauri Prakash Kumar

Involved 

Akhauri Prakash Kumar (Verfasser)
Universität Stuttgart. Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (Herausgebendes Organ)

Published

Heimsheim: Jost-Jetter
2005

Extent

Online-Ressource

Thesis

Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2005

ISBN

978-3-936947-64-9

Language

Englisch

Topic

Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Subject

Wafer, Chemisches Polieren, Prozessüberwachung, Defekt, Diagnosesystem, Mehragentensystem

Series

IPA-IAO-Forschung und Praxis : Berichte aus dem Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart, Fraunhofer-Institut für Arbeitswirtschaft und Organisation (IAO), Stuttgart, Institut für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb (IFF), Universität Stuttgart und Institut für Arbeitswissenschaft und Technologiemanagement (IAT), Universität Stuttgart ; Nr. 421

Other editions

Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Agent based diagnostic system for the defect analysis during chemical mechanical polishing (CMP)

Persistent identifier

urn:nbn:de:bsz:93-opus-23777 (URN)

Record ID

976561247
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