Title |
Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen / vorgelegt von Ulf Kotarsky |
|---|---|
Involved |
Ulf Kotarsky (Verfasser) |
Published |
2005 |
Extent |
140 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2005 (Nicht für den Austausch) |
Topic |
|
Subject |
Oberflächenmessung, Profilmessung, Mikromechanik, Mikroaktor, Sensor-Array, Rasterkraftmikroskopie |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Hochauflösender mikromechanischer Sensor zur Erfassung von Oberflächenprofilen |
Record ID |
976776243 |
Please note
The beta version does not yet contain all functions and information of the DNB portal catalogue. If you are missing information or want to order a medium, please visit the page in the DNB portal catalogue via the following link: