Title |
Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet / vorgelegt von Thomas Arnold |
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Involved |
Thomas Arnold (Verfasser) |
Published |
Berlin: Mensch-und-Buch-Verl. |
Extent |
167, VI S. : graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Leipzig, Univ., Diss., 2005 |
ISBN |
978-3-89820-463-7 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Silicium, Plasmaätzen, Plasmadiagnostik, Halbleiteroberfläche, Plasmastrahl, Wechselwirkung |
Series |
Physics |
Record ID |
977708330 |
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