Title |
Strukturbreitenbestimmung für die sub-100-nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung / vorgelegt von Andrea Weidner |
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Involved |
Andrea Weidner (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
Online-Ressource |
Thesis |
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2005 |
ISBN |
978-3-8322-4678-5 |
Topic |
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Subject |
Nanostruktur, Längenmessung, Beugungsgitter, Lichtbeugung, Numerisches Modell, Online-Publikation |
Series |
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 2005,4 |
Other editions |
Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Strukturbreitenbestimmung für die sub 100nm-Lithographie mittels spektralellipsometrischer Beugungsmessung |
Persistent identifier |
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Record ID |
978021134 |
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