Title |
Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten / Gregor Smolka |
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Involved |
Gregor Smolka (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
XXIII, 135 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2005 |
ISBN |
978-3-8322-4686-0 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Laserschweißen, Mikroschweißen, Anlagenplanung, Rasterelektronenmikroskop, Einrichten (Technik) |
Series |
Aachener Berichte Fügetechnik ; Bd. 2005,6 |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Entwicklung und Charakterisierung einer Elektronenstrahlanlage für das Fügen von Mikrokomponenten |
Record ID |
978124367 |
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