Title |
Mikromechanische Plattform für Metalloxid- und MOS-Gassensoren auf SOI-Basis / Patrick Kreisl |
|---|---|
Involved |
Patrick Kreisl (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
168 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss., 2005 |
ISBN |
978-3-8322-4873-4 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Gassensor, MOS, SOI-Technik, Sensor-Array, Mikrosystemtechnik |
Series |
Berichte aus der Mikrosystemtechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Mikromechanische Plattform für Metalloxid- und MOS-Gassensoren auf SOI-Basis |
Record ID |
978717279 |
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