Title |
Silizium-Nanodots für nichtflüchtige Speicherbauelemente / Olaf Winkler |
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Involved |
Olaf Winkler (Verfasser) |
Published |
Aachen: Shaker |
Extent |
II, 149 S. : Ill., graph. Darst. |
Thesis |
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006 |
ISBN |
978-3-8322-4941-0 |
Country |
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Topic |
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Subject |
Nanodot-Speicher, Floating-Gate-Struktur, Speicherzelle, SOI-Technik, LPCVD-Verfahren, CMOS |
Series |
Berichte aus der Halbleitertechnik |
Other editions |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: Silizium-Nanodots für nichtflüchtige Speicherbauelemente |
Record ID |
978900162 |
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